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材料
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6
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碳化硅晶体生长炉
碳化硅晶体生长炉主要用于物理气相传输法（PVT）生长大尺寸、高质量SiC 单晶。
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氮化铝晶体生长炉
氮化铝晶体生长炉主要用于物理气相传输法（PVT）生长大尺寸、高质量AlN单晶。
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碳化硅籽晶粘接设备
籽晶粘接设备由加热系统、压力系统、真空系统、水冷系统、控制系统等组成。可实现自动压片、自动升温。
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碳化硅籽晶镀膜设备
籽晶镀膜设备由加热装置、真空系统、控制系统和旋转系统等组成。
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碳化硅单晶生长炉
生产6英寸碳化硅晶体的设备
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8 寸周转片盒清洗机
半导体材料段 8 寸周转片盒清洗设备，设备由上料模组、刷洗模组、清洗模 组、电气模组组成。
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