8 寸周转片盒清洗机

一、设备结构

二、设备概述

半导体材料段8寸周转片盒清洗设备,设备由上料模组、刷洗模组、清洗模组、电气模组组成。

三、技术优势

1、外观整洁、美观,最大限度的减少净化间使用面积。

2、采用成熟、可靠的系统结构方式,设备工作稳定可靠。

四、设备参数

序号 项目 规范要求
设备规格
1 设备主体结构 碳钢方管焊接,外包 PVC 板,象牙色
2 设备尺寸(长*宽*高)/mm 1300×1800×2400
3 片盒尺寸 8 inch
4 控制方式 电控按钮+电气元件
产品标准(验收工艺参数)
5 产品表面金属离子 无残留
6 清洗效果 无杂质残留
7 总合格率 ≥99%
动力标准
8 电气 电压 AC220V 50Hz
功率 5KW
9 DIW 压力 0.35MPa
接口 25A 由令接口(C-PVC) ×1
10 废水 接口 DN50 由令接口(PVC) ×2
11 排风 排风管 200mm 法兰接口 1000m³/h×2
安全标准
12 安全标示 齐全
13 管道流向标示 明确
14 机电部件认证 通过UL/CE/CCC认证
15 设备材料 选用阻燃材料
16 人机交互按钮 选用安全电压
智能制造
17 MES接口
18 软件支持
售后服务
19 交期 12-24周
20 提供设备说明书和维护保养规范 提供
21 设备培训
22 质保期 一年
23 质保期售后服务 工作时间<4 小时电话响应,非工作时间<8 小时电话响应
24 质保外售后服务 工作时间<4 小时电话响应,非工作时间<8 小时电话响应